Struktur  Berdasarkan Organisasi Organisasi Bupati Semarang 68 TAHUN 2021 tentang perubahan atas Peraturan Bupati Semarang Nomor 103 Tahun 2020 Tentang Kedudukan, Susunan Organisasi, Tugas dan Fungsi, Tata Kerja dan Perincian Tugas Perangkat Daerah Kabupaten Semarang, Inspektorat Kabupaten Semarang, terdiri dari :

1. Inspektur
2. Inspektur Pembantu
3. Sekretaris
4. Kasubbag Analisis dan Evaluasi
5. Perencanaan
6. Kasubbag Administrasi dan Umum
7. Jabatan Fungsional Auditor, PPUPD dan JFU